形式: 箱式一体机，立式前门开口，蒸发室和萃取室整体焊接，一体机系统。

真空系统: 极限真空5X10^-4Pa，主泵为复合分子泵。

真空测量: 配备三个数字复合真空计，全部采用安全防爆金属量规。

工件夹具系统。客户要求定制，可扩展4英寸、3英寸和2英寸基板的特殊可互换工装，变频速度3 ~ 30转/分可调，球形和行星工件圆盘可选，行星工件圆盘成本高。

烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块，最高烘烤温度为300 ℃，温度控制精度为1 ℃，超调不超过2 ℃。

电子束蒸发源。E型电子束蒸发源系统 (E型) 1套，主体有屏蔽罩，单枪，单电源，单扫描，配有独立的高压控制柜。

坩埚: 1套坩埚，电动和点动换位，一套无氧铜坩埚，一套石墨坩埚。

电阻蒸发源: 2组电阻蒸发源。(可选)

薄膜厚度测试系统。配备瑞士inficon石英薄膜厚度在线测量系统，RS-232和USB兼容，匹配水冷薄膜厚度探头。

离子源辅助沉积系统: 一套 (可选离子源或高压离子轰击系统)

控制系统: 成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏和西门子PLC，可实现抽真空、工作到烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产过程。支持半自动和手动涂装操作模式。水、电、气线路故障自动报警及保护系统应设置声光报警。