1.1型号:CMY150(定制各种尺寸);

1.2真空泄漏率:<10E-9Torr L/S;

1.3电压:<1000伏;

1.4功率密度:25W/cm2;

1.5适用电源:DC/脉冲-DC/RF;

1.6适用温度:<450℃;

1.7磁路: 磁路模块化，易于更换;

1.8安装方法:CF接口，易于安装;

1.9冷却方式: 间接水冷；

1.10可以满足共溅射和垂直溅射的要求，并且可以与设备控制系统兼容；

2。后续挡板。

2.1接口大小:CF或Wilson接口；

2.2密封方式: 非接触式静密封；

2.3可以在溅射源正常工作后微调挡板结构并调整挡板角度；

2.4具有快速拆卸和安装的快速释放接口。

2.5挡板数据接口与设备控制系统可以兼容。