形式: 箱式一体机，立式前门，蒸发室和萃取室整体焊接，沉积室由SUS304真空氩弧焊形成，一体机系统，可连接单排双工位手套箱，中间采用DN150超高真空插板阀切断。

真空系统: 极限真空5X10-4Pa，主泵为复合分子泵，抽速600L/S，前泵配有直接泵，主阀匹配。

真空测量: 配备数字复合真空计，全部采用防爆金属测量仪。

工件夹具系统。定制客户需求，可放入4英寸面罩，转速3 ~ 30rpm变频可调。

烘烤系统。匹配数字功率控制器和PID控制模块，最高烘烤温度为300 ℃。

电阻蒸发源: 水冷电极引入，电阻蒸发源2套，蒸发功率5KW，配备8KWE型电子枪1套，

薄膜厚度测试系统。配套石英薄膜测厚仪，可与挡板联动。

控制系统: 成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏和西门子PLC，可实现抽真空，工作到烘烤，自动冷却和排气等镀膜生产过程。支持半自动和手动涂装操作模式。水、电、气线路故障自动报警及保护系统应设置声光报警。

辅助系统: 1台冷水机组和1台空气压缩机。

说明: 该系统包括一个单排双工位手套箱，一侧四只手套，有效长度为1.8米。