形式: & phi;650-3500mm，箱式一体机，立式前门开口，蒸发室和萃取室整体焊接，一体机系统。

真空系统: 极限真空8X10-5Pa，主泵为复合分子泵 \ 低温泵 \ 扩散泵可选。

真空测量: 配备三个数字复合真空计，全部采用安全防爆金属计。

工件夹具系统。定制客户需求，转速3 ~ 30转/分变频可调，工件圆盘为球形和行星工件圆盘可选。

烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块，最高烘烤温度为300 ℃，温度控制精度为1 ℃，超调不超过2 ℃。

电子束蒸发源。E型电子束蒸发源系统 (E型) 1-2套，主体有屏蔽罩，配有独立的高压控制柜。

旋转蒸发源: 电动旋转和点动旋转，无氧铜坩埚1套，石墨坩埚1套。

电阻蒸发源: 2组电阻蒸发源。(可选)

薄膜厚度测试系统。配备瑞士inficon石英薄膜厚度在线测量系统，RS-232和USB兼容，匹配水冷薄膜厚度探头。

离子源辅助沉积系统: 一套 (可选离子源或高压离子轰击系统)

控制系统: 成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10寸触摸屏 (工控机)，西门子PLC，可实现抽真空、工作到烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产过程。支持半自动和手动涂装操作模式。水、电、气线路故障自动报警及保护系统应设置声光报警。

描述: 根据用户要求，公司愿与客户共同开发，共享知识产权，公司致力于技术与设备的完美匹配。