1。主题。

是全封闭的框架结构，真空室是前门打开方式，机柜和主机是一个集成机构。采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料 (SUS304)，箱体尺寸为: 不小于 & phi;350 X400mm。设置DN100观察窗，观察窗位于真空室门前。框架默认为白色 (或铝合金自然色)，门板为白色，四个脚轮可以固定和移动。室体、真空单元、磁控目标等有断水报警锁定安全装置，可以防止断水后的安全隐患。

2。真空系统。

2.1极限真空。≤ 6.63 × 10^-4Pa (空载，充分烘烤脱气，充入干燥氮气)。

2.2真空配置。一台高速直联旋片泵，抽速大于6L/S，一台超高分子泵，抽速为600L/s。

2.3真空测量。双向电阻计、单向电离计; 分别对真空室和真空管道进行准确监测，并进行数据通信。

3。工件夹具系统。单工位4英寸工件盘，工件盘可加热至500摄氏度，工件架真空室底部安装，易于更换基板，转速为3〜30rpm。

4.照明灯具。照明装置1套。

5.磁控溅射系统。配置2-3个 Φ50mm磁控管靶，安装在真空室的顶部，向下溅射成膜；

6。通货膨胀系统。两个通道分别装有质量流量控制器，分别为0-100SCCM 1和0-200SCCM 1，精度为1% f. s，线性度为0.5 f. s，重复精度为0.2 f. s。

7。循环冷却水回路。配置。

8.电气控制系统。采用功能模块设计方法，匹配西门子控制单元和MCGS人机界面，实现真空系统自动控制、基本工作单元控制、安全报警和故障信息显示，并通过文字提示。软件的功能和模块可以根据实际需要单列或组合，但功能不得减少。