- 2025-11-10
- 2025-09-29
- 2025-09-24
- 2025-09-01
设备主要由真空室、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡室、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成。同时,它与空气压缩气体源和水冷系统相匹配,可以根据客户的要求定制。
超越复合磁控溅射镀膜
该设备由成都超迈光电科技有限公司与中科院某研究所合作研制,用于制备耐腐蚀、固体保湿、表面强化等功能涂料。
设备主要由真空室、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡室、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成。同时,它与空气压缩气体源和水冷系统相匹配,可以根据客户的要求定制。