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成都超迈光电科技有限公司

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超越大口径干法刻蚀设备

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超越系列干法蚀刻机特别适用于大直径，高均匀性和特殊微纳结构的基板蚀刻。最大刻蚀尺寸可达 φ2500mm。通过高密度等离子体和离子浓度校正系统，可以实现基板有效蚀刻区域均匀性高的技术指标，以满足大直径基板的蚀刻要求。
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